产品特性：
XY为超博直线电机，内置光栅尺，重复定位精度＜1um
Theta轴为直驱力矩电机，角度调整，内置光栅尺
最上端为3个Z轴音圈电机，特殊算法，内置光栅尺，可以实现上下调焦及超高精度调平
典型应用领域：电子元器件精密装配/检测、晶圆检测
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型号：
简介：48×48mm尺寸。使用大字体白色PV显示，提高可视性。选择、操作及设定简便。实现输入输出
简介：XY为超博直线电机，内置光栅尺，重复定位精度＜1um Theta轴为直驱力矩电机，角度调整，内置光栅尺 最上端为3个Z轴音圈电机，特殊算法，内置光栅尺，可以实现上下调焦及超高精度调平
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产品特性：
XY为超博直线电机，内置光栅尺，重复定位精度＜1um
Theta轴为直驱力矩电机，角度调整，内置光栅尺
最上端为3个Z轴音圈电机，特殊算法，内置光栅尺，可以实现上下调焦及超高精度调平
典型应用领域：电子元器件精密装配/检测、晶圆检测
