产品特性：
XY中空设计
XY行程288mm*288mm
XY十字叠加结构，内置直线电机及高精度交叉滚柱导轨
XY集成高精度光栅尺，重复定位精度±0.5um，绝对定位精度2um
典型应用领域：4/6/8寸晶圆检测
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型号：
简介：48×48mm尺寸。使用大字体白色PV显示，提高可视性。选择、操作及设定简便。实现输入输出
简介：XY中空设计 XY行程288mm*288mm XY十字叠加结构，内置直线电机及高精度交叉滚柱导轨 XY集成高精度光栅尺，重复定位精度±0.5um，绝对定位精度2um
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产品特性：
XY中空设计
XY行程288mm*288mm
XY十字叠加结构，内置直线电机及高精度交叉滚柱导轨
XY集成高精度光栅尺，重复定位精度±0.5um，绝对定位精度2um
典型应用领域：4/6/8寸晶圆检测
